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機械部門では、日々進歩する生産プロセスのなかでSiウェハーの加工・洗浄・検査装置からIC、LSI、レーザーダイオード、フラットパネル (LCD、CF、PDP)、光デバイスの生産装置まで、先進技術を駆使して高度な生産システムをお届けしています。また、現場の生の声「すき間ニーズ」を鋭くキャッチ。各製造工程を分析してグループ会社や関連メーカーと共に数多くのオリジナル製品を開発・製造しています。
 

 
主要取扱商品群

Siウェハー製造プロセス装置/LSI製造プロセス装置
FPD (LCD, CF, PDP) 製造プロセス装置/光デバイス製造プロセス装置

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